PIO

* 개인 공부용 입니다.

 

개요

PIO란 Parallel Input Output의 약자입니다.

즉, PIO 센서는 I/O의 상태를 전달하는 입출력 센서를 의미합니다.

 

PIO 센서는 기본적으로 "E84 통신" 을 하기 위함.

 

"E84통신" 은 

SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International ; 세계 반도체 장비 재료 협회) 에서 정한 통신 규칙

반도체 장비간 물류 이동시 필요한 규약

 

로봇 ( Active )와 공정장비 (Passive)를 나누어

기본 16개의 I/O 신호를 통해 Box를 이동할 수 있는 상태인지, 이동 중인지, 이동 완료 되었는지 등의 대하여

신호를 통해 의미와 순서를 정함.

 

신호에 대한 설명

 

Timing Chart (Load 작업 시 E84 통신 규약)

 

장비 설명

A = Active, (예, Delivery Vehicle)

P = Passive, (예, Process Equipment)

 

Active 장비 예시

 

 

 

타이밍 순서

- 

 

 

 

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제품에서의 구성

제품 : https://www.getcontrol.com/documents/PIO_Optical_Transceiver_Datasheet.pdf

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

링크: https://blog.naver.com/yhol98/221872574230